《半導體》創控首秀AI預警解決方案 智慧守護晶圓良率

【時報記者林資傑台北報導】半導體氣態微汙染（AMC）監控設備廠創控(6909)於SEMICON Taiwan 2026國際半導體展中，首度展出「半導體工廠微汙染管理—AI預警解決方案」，導入物理定律約束（Physics-Constrained）AI技術，結合創控旗下系列監測設備，實現環境風險主動預警。 隨著半導體先進製程對微環境控制要求日益嚴苛，AMC已成為影響廠務穩定與晶圓良率的重要因素。創控處長吳惠芳表示，公司長期深耕氣態微汙染監測，此次展出的AI預警解決方案，結合監測技術與客戶應用經驗整合，盼協助客戶提升製程穩定性及廠務營運效率。 創控指出，傳統廠務監測機制常面臨事後被動告警、缺乏空間視覺化、過渡仰賴人工判讀、難掌握複雜氣流等四大盲點，且半導體業因高度重視技術保密，難以對外分享數據，導致自主建構預警系統面臨重重挑戰。 對此，創控導入「物理定律約束AI」，搭配計算流體力學（CFD）及廠務服務經驗，是「AI預警解決方案」可在不依賴核心製程敏感參數下進行精準汙染擴散模擬，同時能避免演算法幻覺（AI Hallucination），以自動化的高效運算取代繁複的人工推演。 創控指出，「AI預警方案」透過「預測性早期預警」掌握汙染濃度趨勢，在擴散影響製程前觸發告警，結合3D空間視覺化及動態熱力圖呈現異常氣體擴散方向，協助廠務人員快速追蹤汙染來源與受影響區域，提升異常應變速度及決策精準度。 導入架構方面，創控規畫四階段合作模式，依序從「布建感測網路」、「建構數位分身」，進一步導入「物理定律約束AI」，最後進行「預測環境風險」，協助客戶逐步建立智慧廠務防護體系，並透過監測、模擬與預警整合，強化無塵室環境管理。 此外，創控亦展出為高階製程的嚴苛標準打造的完整AMC及揮發性有機氣體（VOC）分析設備，涵蓋具連續監測能力與極高靈敏度的線上型分析系統、可攜式分析儀及全方位的系統整合方案，形成不同應用場景的監測產品組合。 其中，FMS2000分析儀鎖定前開式晶圓傳載盒（FOUP）微環境精準監測，MiTAP S500、S600系列提供VOC個別分析，MiTAP M3分析儀對應即時酸鹼氣體檢測需求。定點機櫃Manifold System主打24/7在線連續監測，AMC/VOC行動監測推車則專為廠內機動監測與離線異常排除打造。 創控表示，公司的分析儀與系統產品具備極高靈敏度、高精確度與強大的現地分析優勢。「AI預警解決方案」能賦能第一線工程師在微汙染擴散前，第一時間掌握動態並即時排除異常，極大化廠務運作的整體效率。