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東聯高純度二氧化碳 首度打入台積電先進製程供應鏈
(圖片來源:freepik)
發布時間:2022-02-09 11:29:48
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作者:鉅亨網記者林薏茹 台北

隨著半導體往先進製程推進,對化學品的精度要求與需求量也更大,東聯 (1710-TW) 回收 EG(乙二醇) 製程中產生的二氧化碳,產製高純度二氧化碳,純度等級達 99.9999%,可供應 5 奈米、3 奈米等先進製程需求,首度直接打入晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 供應鏈,今年下半年新廠完工後,就可開始量產出貨。

東聯主力產品為 EG,由於 EG 生產過程中會產生二氧化碳,東聯超前部署碳中和趨勢,在生產 EG 的同時,也進行二氧化碳回收,目前回收率已達 8 成。

不過,半導體製程對二氧化碳的純度、品質要求比化工產業更高,過去國內晶圓代工廠對二氧化碳的純度要求約 99.999%,供應商多為小型氣體廠,但隨著半導體朝更先進製程推進,對二氧化碳純度的要求也進一步提升至「6 個 9」、即 99.9999%。

東聯透過自身碳捕捉循環再利用製程,產製高純度二氧化碳,以搶進半導體先進製程化學品市場。東聯表示,所生產的高純度二氧化碳,符合 5 奈米、3 奈米等先進製程需求,加上先進製程對相關二氧化碳需求量大,公司已在建置新產線,初期規劃月產能 1000 噸,預計下半年投產。

歐盟碳關稅將於 2026 年上路,未來產品需有碳足跡、或是低碳排放相關認證,才能做歐洲市場的生意。而東聯透過碳捕捉循環再利用製程,除有助減少碳足跡外,也能藉此切入半導體化學品供應鏈,一舉兩得。

因應碳中和趨勢,東聯近年來積極發展循環經濟,除碳捕捉再利用製程外,也回收製程中的廢棄物,再加工創造價值,並轉型朝特化市場佈局,盼擺脫過去 EG 身為大宗產品,以追求數量與降低成本為最高作戰原則的模式。

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